于2005年开始,使用尼康Nikon i-line步进式光刻机,型号:NSR-SF140,分辨率≤280nm。这是一种具有高吞吐量和极低拥有成本的扫描场i线步进器。
客户可以将NSR-SF140用于大规模生产下一代存储器和微处理器的非关键层。NSR-SF140可提高生产率并提高镜头性能。光源和透镜热管理得到了改进,在典型的生产应用中(即剂量=200mJ/cm2,300mm晶片上的76次曝光)。
光刻设备中光源为紫外线I线,波长为365nm,功率为7.5KW,对应型号为NLi-7500AL2,是日本ORC生产。
光源制作工厂给出寿命时间1500Hr,照度保证时间1500Hr的承诺。
使用步进式光刻机型号:NSR-SF140,NSR-SF150,NSR-SF155; i线步进式光刻机NSR-2205i11 SHRINC3,用于半导体器件制造。使用ORC高压汞灯,功率2KW,型号:NLi-2002A-1。日本进口紫外线灯12.5KW
ORC制造UV-LED照射装置
3种波长(365nm,385nm,405nm)可以单独照射,多波段混合LED照射装置。
製品仕様
灯具型式:LUV-L330-Mix2
照射範囲:W330.0(mm)D15.0(mm)
波長:365・385・405(nm)照射距離(WD)25(mm)
消費電力:(Max)1900(W)
Size:H125.7(mm)W482.0(mm)D230.0(mm)
重量:7.5(kg)
電源型式:LUV-L330-Mix2
調光方式:デジタル調光・定電流制御方式
出力容量:2600(W)
定格電源電圧:AC100~240(V)50/60Hz
アラーム機能:LED断線・温度上昇重量22.0(kg) NSR-SF150光刻机用紫外线灯NLi-7500AL2用紫外线点亮半导体,点亮科技进步的未来。
高压汞灯光学扩散基于非成像光学的光学扩展量概念,结合冷反光碗方程,平面镜,反射镜等光学镜组,将光源发光弧长内部的强度分布和角度分 布作为权重函数,导出了出射光斑的光能量分布,分析了带反光碗的超高压汞灯出射光斑的光学扩展量.根据理论分析模型,实际模拟了输出光斑的光能分布与光学 扩展量的关系曲线.为了验证分析方法的正确性,提出采用积分球测量光学扩展量和光能分布的方法,实验测量并验证了模拟得到的曲线,从而为照明系统的设计提 供了有价值的参考.
オーク製作所
紫外線光量計(Made in japan)
用途:OLED,LED,PCB,IC,LCD工厂,封装工艺中密封框胶水的固化。
特长:紫外线光固化,低能耗,无污染,高效率。
配合光量计,测量365nm峰值波长紫外线灯照度大小。
型番:UV-351
規格:測定波長:310~385nm
測定照度範囲:0.1~100mW/cm²
測定光量範囲:1~19999mJ/cm²
繰り返し精度:±1.5%以内
標準構成:
①光量计本体UV-351
②减光filter
③纽扣锂电池
④螺丝刀₋
⑤螺丝刀+
⑥操作说明书
⑦除尘布
⑧收纳箱 i线步进式光刻机NSR-2005i10用于半导体器件制造。使用ORC制作所高压汞灯,功率2KW,型号:NLi-2001A-1。
紫外线照度计检测原理:光电池是把光能直接转换成电能的光电元件。当光线射到硒光电池表面时,入射光透过金属薄膜4到达半导体硒层2和金属薄膜4的分界面上,在界面上产生光电效应。产生电位差的大小与光电池受光表面上的照度有一定的比例关系。光电流的大小取决于入射光的强弱和回路中的电阻。照度计有变档装置,因此可以测高照度,也可以测低照度。这时如果接上外电路,就会有电流通过,电流值从以勒克斯(Lx)为刻度的微安表上指示出来。超高压汞灯、金属卤素灯,紫外线消毒,工业生产更安心。高压汞灯紫外线灯ONL-13503
型号:Nikon NSR-I12 ,应用于生产线,是6英寸,8英寸 i线光刻胶的曝光,曝光精度准,解析力可达350NM。日本进口紫外线灯12.5KW
金属卤素灯在含有汞及氩气等稀有气体的UV灯的基础上添加铁掺合、钾掺合或其它稀土金属原素掺合。铁掺合卤素灯特别增强了380hm作为比较高波峰。主要适用于油墨、油漆的固化,干膜、湿膜,绿色阻焊的曝光。在网印和固化中带颜色,特别是涂层较厚的产品和白色、黑色的干燥有突出的效果。PCB、LCD行业:pcb 是电路板 uv灯管用于电路板的印刷一般使用METAL(金属卤素灯管),另外还有一种是曝光灯也属于金属卤素灯 PCB制作的时候,用于曝光显影的,一般用在电路板公司。lcd是显示屏,一般用低压冷紫外线灯管和固化用的灯管不一样,但是都属于紫外线灯,用途不一样。日本进口紫外线灯12.5KW